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표면처리

Glass Metal 증착 기술

건식코팅



Glass Metal 증착 기술 학습목표

Glass재질로 이루어진 소재에 동일한 형상과 일정한 간격의 양각패턴을 형성하기 위해 공정 단계에 필요한 조건을 맞추고, 작업을 진행하여 제품을 생산할 수 있다.

전체 공정 프로세스

[디스플레이 표면처리] 소재투입 → Data 입고 → Film Matching → 전처리 → PR코팅 → 노광작업 → 현상작업 → 에칭작업 → 박리작업 → 세정 및 검사작업

공정 기초 이해

  • [공정 정의] Glass 소재의 플레이트에 대해 반도체 제조 공법인 포토리소그라피 공법을 적용하여 내산성 금속 박막층을을 형성함으로써 양각 절삭돌기를 동일한 형상과 일정한 간격으로 형성하는 표면처리 공정

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  • [공정 내 작업 프로세스]
    1. Glass 입고 검사
    2. CAD data 입고
    3. Film Matching
    4. 전처리
    - 도금(금속)에 들어가기 전의 모든 공정. 탈지, 산처리, 활성화 등은 필수적으로 전처리 공정에 포함.
    5. PR코팅
    6. 노광작업
    - 감광성 유제층의 특정 대상 부위에 빛 에너지를 가해 화학적 변화(Monomer; 단량체 를 Polymer; 중합체 로 바꾸는 것)를 일으켜 필요한 Pattern image를 재현해내는 공정
    7. 현상작업
    - 노광 공정 후 LPR INK의 비 경화부위를 현상액으로 용해, 제거시키고 경화부위의 LPR을 남게 하여 기본회로를 형성시키는 공정
    8. 에칭작업
    - 반도체 제작공정에서 포토 레지스트(빛을 가하면 화학 변화를 일으키는 재료(수지))에 피복되어 있지 않은 산화막을 제거하는 공정
    9. 박리작업
    - 금 피막을 기계적 방법 또는 화학적/전기화학적 방법으로 소지나 하지에서 벗겨지는 것
    10. 세정 및 검사작업

설비 기초 이해

  • 클린룸 (온도 : 21±1.5 / 습도 : 65± )에서 관리 배기시설 필수 코팅기, 노광기, 전처리기, 현상기, 에칭기, 박리기 3차원 측정기, α 측정기

필요 공구

  • 강화유리, 필름, 방열장갑, 현상액, 에칭액, 순수, 현미경

 

 

윤도근

소속 : 천안 공업고등학교
뿌리기술세부분류 : 표면경화, 증착
코칭횟수 : 0

주요경력

1. 2010년10월-2014년 현재 천안공고 산업체 우수강사. (연무대 공주 마이스터고 멘토 활동) 
 2. 2002년10월-2009년12월 노바테크 인터스터리 공장장 근무. 
 3. 1996년 5월-2001년7월 수원공장 신공장 소사장. (BM ,SRY 노광 증착 공정 설비 품질 생산 관리 담당) 
 4. 1995년 소성생략 프로젝트 담당락카 적용으로 소성생략 성공. 
 5. 1994년 브라운관 자동화 검사 장치 비젼시스템 적용 생산성 향상 및 인원 효율화. [전 세계 27EA Line  막공정 검사장치 확대 적용) 
 6. 1993년6월 일본 TPS 연수. (6개월) 
 7. 1992년 전사 개선제안 및 혁신 전문가 활동. 
 8. 1991년 전사 자주관리 전문가 활동 전개. 
 9. 1983년-1990년 현장 일선관리자 역임.(조장 반장 직장 과장) 
10. 중국 심천 천진 말레이시아 스크린 공정 생산성 지도

자격증

1. 1988년 전사 TPM전문가-SDI(주) 
 2. 1989년 전사 분임조 심사위원 SDI(주) 
 3. 1990년 혁신 전문위워 SDI(주) 
 4. 1993년 1Z VE 전문 위원 SDI(주) 
 5. 1995년 6시그마 BLACK 사내 SDI(주)

수상내역

1. 1987년 10월 5일 삼성그룹 본인조 은상수상. 
 2. 1990년 11월 경기도 품질경영대회 금상수상.(경기 표준협회장) 
 3. 1991년 5월 16일 김정배 대표이사 전관인상 수상. 
 4. 1992년 3월 전사 자주관리 전문위원 공장장 표창수상. 
 5. 1993년 11월 18일 대한민국 품질 명장 수상. 
 6. 1997년 11월 심천,천진,말레이시아 생산,품질향상 대표 표창.

자기소개